基本型等離子清洗機(jī)是實(shí)現(xiàn)材料表面清潔、活化與改性的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室及小批量生產(chǎn)中。為確保
基本型等離子清洗機(jī)操作安全、處理效果穩(wěn)定并延長(zhǎng)壽命，必須遵循規(guī)范的操作流程。以下是標(biāo)準(zhǔn)操作步驟：
一、使用前準(zhǔn)備
環(huán)境檢查：確保基本型等離子清洗機(jī)放置在平穩(wěn)、通風(fēng)良好的臺(tái)面上，周圍無易燃易爆物品。檢查電源電壓是否符合要求（通常為220V），接地線連接可靠。
氣體連接：根據(jù)工藝需求選擇合適氣體（如氧氣、氬氣、空氣或混合氣），將氣瓶通過減壓閥和管道連接至設(shè)備進(jìn)氣口，確認(rèn)無泄漏。調(diào)節(jié)輸出壓力至設(shè)備規(guī)定范圍（通常0.1–0.3 MPa）。
真空系統(tǒng)檢查：確認(rèn)機(jī)械泵油位正常、無乳化現(xiàn)象，泵體冷卻良好。
二、裝載樣品
樣品處理：將待清洗的樣品（如PCB板、玻璃片、塑料件等）用無塵布初步擦拭，去除明顯顆粒或油污。
放入腔體：打開真空腔門，將樣品平穩(wěn)放置于電極板中央，避免堆疊或遮擋。樣品尺寸不得超過腔體有效處理區(qū)域。
關(guān)閉腔門：確保密封圈清潔無異物，輕輕關(guān)閉腔門并旋緊鎖扣，保證密封性。
三、參數(shù)設(shè)置與啟動(dòng)
抽真空：開啟真空泵，啟動(dòng)自動(dòng)抽氣程序，待腔體壓力降至工藝起始?jí)毫Γㄍǔ?0–100 Pa）后停止抽氣。
設(shè)定工藝參數(shù)：根據(jù)材料類型和處理目的設(shè)置：
氣體種類與流量：如氧氣用于去有機(jī)物，氬氣用于物理清洗，流量一般為10–50 sccm。
射頻功率：通常50–150 W，功率過高可能導(dǎo)致樣品損傷。
處理時(shí)間：一般1–10分鐘，視污染程度而定。
啟動(dòng)等離子：確認(rèn)參數(shù)無誤后，啟動(dòng)射頻電源，觀察腔體內(nèi)是否出現(xiàn)均勻輝光放電（呈藍(lán)紫色或淡粉色），表明等離子體已正常激發(fā)。
四、運(yùn)行監(jiān)控
設(shè)備運(yùn)行期間，觀察壓力、功率和輝光狀態(tài)是否穩(wěn)定，有無異常噪音或火花。嚴(yán)禁打開腔門或觸摸高壓部件。
五、結(jié)束操作
關(guān)閉射頻：處理時(shí)間結(jié)束后，自動(dòng)或手動(dòng)關(guān)閉射頻電源，輝光熄滅。
泄壓取樣：緩慢打開充氣閥，使腔體恢復(fù)常壓后方可打開腔門，取出樣品。
關(guān)機(jī)：關(guān)閉氣源、真空泵和主電源。清理腔體及密封圈，保持清潔干燥。
更新時(shí)間：2025-09-22 
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